TLS系列
精密冷水机
半导体设备专用
用于半导体制造装置、分析检测设备等发热部位冷却及温度控制。
- 温度范围:5~85℃
- 控温精度:±0.1℃
- 显示分辨率:0.01℃
- 控制方式:PLC+PID
- 通信协议:RS485 Modbus RTU
精密温控产品矩阵
覆盖半导体制造、检测设备、工业加工及低温应用的
温度控制解决方案。

用于半导体制造装置、分析检测设备等发热部位冷却及温度控制。

适用于化工、制药、食品、机械加工等多种工业场景的温度控制。

大制冷量工业集中冷源系统,适用于生产线、工艺冷却等大型应用。

复叠制冷技术,最低可达 -110℃,满足极低温实验和工艺需求。

用于气体(氮气、压缩空气等)降温,广泛应用于晶圆测试和激光设备。
样册收录的全部系列,含常温型 PLS 与直冷型 PTZL。
±0.1℃精准控温
温度稳定可靠
PLC+PID智能算法
自动调节温度
多种保护功能
保障设备安全
国际品牌压缩机
性能稳定寿命长
根据需求定制设计
满足特殊工艺
快速响应售后团队
全程技术支持