TLS半导体设备专用

TLS系列精密冷水机

半导体制造设备专用 · 高精度温控解决方案

用于半导体制造装置、分析检测设备等发热部位冷却及温度控制。

温度范围5~85℃
控温精度±0.1℃
显示分辨率0.01℃
控制方式PLC+PID
通信协议RS485 Modbus RTU

产品介绍

TLS精密冷水机使用温度范围 5~85℃，配有加热器，属于制冷加热一体机。型号按加热功率命名，加热功率在 1.5~25kW 之间。精密冷水机可以满足精确控温的需求，也可以根据客户要求选配流量计和压力传感器。本产品适用于半导体制造装置、分析检测装置等发热部分的冷却及温度的控制。

产品特点

01制冷加热一体，±0.1℃精密控温
027寸彩色触摸屏，温度曲线可记录
03可选配流量计与压力传感器
04定值 / 程式 / 斜率升降温三种控温模式

典型应用领域

半导体制造装置发热部位冷却
分析检测装置温度控制
晶圆制程温控（扩散、刻蚀、CMP）
激光器与光学平台恒温

工作原理图

※ 注：系统流程示意图为简化版，与实物可能会存在差异，请以实物为准。

型号说明

DLS—B0.5WN

1、产品系列代码；
2、温度代码：A -10℃~RT　B -25℃~RT　C -40℃~RT　5℃~RT 不表示；
3、功率代码：表示出口温度高于最低温度5℃对应的制冷量，如 -20℃ 制冷量 0.5kW；工业冷水机和精密冷水机则表示出口温度 20℃ 对应的制冷量，螺杆冷水机为压缩机代号；
4、冷凝方式：W 表示水冷，风冷不表示；
5、非标代码：详见非标代码定义规则，无非标要求则不表示。

参数配置表

数据取自 GPTECH 产品样册，如需其他型号或定制参数请联系我们。

参数配置表TLS系列 5~85℃

型号		TLS-1.5	TLS-2.5	TLS-3.5	TLS-5.5	TLS-7.5	TLS-10	TLS-15
主要应用		本产品适用于半导体制造装置、分析检测装置等发热部分的冷却及温度的控制。
温度范围		5~85℃
加热功率 kW		1.5	2.5	3.5	5.5	7.5	10	15
制冷量 kW	20℃	1.5	2.5	3.5	5.5	7.5	10	15
制冷量 kW	10℃	1.1	1.5	2.5	3.8	5.5	7.5	12.5
泵浦最大流量 L/min		15	20	30	35	50	60	90
泵浦最高扬程 m		12	15	20	20	25	25	25
蓄冷油箱容积 L		3.5	5.5	10	15	20	25	30
控制系统		PLC控制器，智能PID控温模块，可精确控制和实时显示温度
控温对象		设备出口温度控制
控温模式		默认定值模式，可选程式控温，斜率升降温
通信协议		标准配置RS485通讯接口，Modbus RTU 协议
外部输入		外置测温传感器端口（标配3芯PT100，可选配4–20mA或通信给定）、USB数据接口
温度反馈		设备导热介质温度反馈PT100（进口温度、出口温度）
控温精度		±0.1℃
温度显示分辨率		0.01℃
人机界面		7寸彩色触摸屏，中英文显示，操作简便、显示直观，可显示、记录温度曲线和测试数据
安全防护		设备运行状态实时显示，故障信息自动诊断，多项报警保护：漏电保护、电源故障、循环泵热过载、压缩机热过载、制冷压力过高、制冷压力过低、压缩机吸排气超温、电加热防干烧、泵出口压力异常、温度模块故障、传感器故障等保护功能。
制冷剂		R22/R407C
接口尺寸		G1/2	G1/2	G3/4	G3/4	G1	G1	G1.2
外形尺寸 cm		50×45×90	60×45×125	75×55×145	85×55×145	85×55×145	90×65×155	115×75×175
重量 kg		95	125	165	205	225	350	450
外壳材质		冷轧板喷塑（标准颜色9016，可选配SUS304材质）
电源 ph/v/Hz		1/220/50	3/380/50
机组配电功率 kW		2.3	4	6	8.5	11	15	22
选配		可选控制介质出口流量、压力，增加吹扫、加压等功能