GPTECH 风冷式精密冷水机运行于半导体洁净车间
TLS 系列 · 半导体精密温控系统

精密温控智造未来

稳定的温度控制,守护工艺表现、产品良率与设备稼动率。

  • 5–85℃温度范围
  • ±0.1℃控温精度
  • 0.01℃显示分辨率
  • 精准温控±0.1℃高精度控制
  • 智能PID自适应温控算法
  • 多重保护保障设备安全运行
  • 工业通讯RS485 Modbus RTU

高效制冷加热一体化系统

精准控制快速响应稳定可靠

  • 制冷/加热一体满足多种工艺需求
  • PLC智能控制实时监控与精准调节
  • 高效循环系统确保温度快速稳定
GPTECH 制冷加热一体化系统实物构成:冷凝器、压缩机、蒸发器、膨胀罐、循环泵与用户设备123456
  1. 1风冷冷凝器
  2. 2压缩机
  3. 3蒸发器 / 蓄冷水箱
  4. 4膨胀罐
  5. 5循环泵
  6. 6用户设备
制冷回路加热回路

出口温度稳定控制在 ±0.1℃,配合触摸屏的温度曲线记录,我们能把每一炉的热历程留档追溯。

设备工程负责人半导体制造企业

为你的工艺条件选对机型

七大系列覆盖 -150℃ 至 +350℃,从半导体制程到分析检测、精密加工与工业工艺。把目标温度、发热量与流量条件告诉我们,工程师 1 个工作日内回复选型建议。