产品介绍
PTLQ系列气体制冷机用于气体的降温与冷却，也可选择进行升温与恒温控制。气体通常为干燥的压缩空气或氮气、氩气等惰性气体。进气温度可以是常温的，也可以是高温的，经过气体制冷机降至目标低温。针对晶圆测试载冷台的应用来说，气体制冷机相比传统的液冷有诸多优势，如使用方便、安全卫生、成本低、无异味等。控制器可选配物联网功能，可在手机 APP 上进行远程查看数据、报警信息和远程操控。
产品特点
- 01-135℃ ~ +225℃，可非标定制
- 02高效换热器，常温至 -80℃ 最快只需 5 分钟
- 03可选配精确控温形式，精度最高 ±0.1℃
- 04可选配冷量回收装置，提升能效
- 05可选配进气流量自动控制与检测
- 06自适应PID算法，无需改变参数即可最佳控温
- 07可选物联网远程监控（手机APP）
典型应用领域
- 晶圆测试载冷台提供低温气体
- 芯片低温测试
- 激光设备局部区域降温
- 液晶触摸屏低温冷冻脱胶
- 材料性能测试
- 热沉实验温度控制
- 结晶系统控温
工作原理图
型号说明
PTLQ—D0.5—50HWN
- 1、产品系列代码；
- 2、温度代码（气体制冷机最低出口温度）：A -10℃ B -25℃ C -40℃ D -60℃ F -80℃ H -100℃ J -120℃ L -150℃；
- 3、功率代码：表示高于最低温度5℃对应的制冷量，如 -55℃ 制冷量 0.5kW；
- 4、气体最大处理流量；
- 5、加热功能：内部配气体专用加热器，可以输出最高 200℃ 的出口温度；
- 6、冷凝方式：W 表示水冷，风冷不表示；
- 7、非标代码：详见非标代码定义规则，无非标要求则不表示。
参数配置表
数据取自 GPTECH 产品样册，如需其他型号或定制参数请联系我们。
参数配置表PTLQ系列 -40℃
| 型号 | PTLQ-C05-30 | PTLQ-C1-60 | PTLQ-C1.5-90 | PTLQ-C2.5-150 | PTLQ-C3.5-200 | PTLQ-C5.5-300 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 最低处理温度 | -40℃ | ||||||
| 气体处理能力 m³/h | 30 | 60 | 90 | 150 | 200 | 300 | |
| 制冷量 kW @-35℃ | 0.5 | 1 | 1.5 | 2.5 | 3.5 | 5.5 | |
| 加热功率 kW（选配） | 0.9 | 1.8 | 1.8 | 3 | 3.5 | 5.5 | |
| 控温精度 | ±0.5℃（需选配加热器，未选配加热器默认为不控温，出口温度达到设计计算最低温度即可） | ||||||
| 控制系统 | PLC控制器，智能PID控温模块，可精确控制和实时显示温度 | ||||||
| 人机界面 | 7寸彩色触摸屏，中英文显示，操作简便、显示直观，可显示、记录温度曲线和测试数据 | ||||||
| 控温对象 | 设备出口温度控制 | ||||||
| 通讯模式 | Modbus RTU协议RS485接口 | ||||||
| 外部输入 | 外置测温传感器端口、USB数据接口 | ||||||
| 温度反馈 | 设备导热介质温度反馈PT100（进口温度、出口温度） | ||||||
| 安全防护 | 设备运行状态实时显示，故障信息自动诊断，多项报警保护：电源故障、压缩机热过载、制冷压力过高、制冷压力过低、加热器超温、温度模块故障、传感器故障等保护功能。 | ||||||
| 换热器材质 | SUS304 | ||||||
| 换热器承压 | ≥3Mpa | ||||||
| 进气要求 | 氮气或3~7bar压缩空气：需干燥处理，露点温度低于最低处理温度 | ||||||
| 制冷剂 | R404A | ||||||
| 接口尺寸 | 10mm卡套 | G1/2 | G3/4 | G1 | G1-1/4 | DN50 | |
| 水冷型（型号后缀W） | 流量 m³/h | 0.6 | 1.2 | 2.1 | 2.8 | 3.5 | 5.5 |
| 水温 | 以上流量根据水温20℃计算得出，冷却水进水温度应不高于30℃，不低于5℃，否则将影响设备正常运行。 | ||||||
| 压力 | 2~4.5bar | ||||||
| 接口尺寸 | G1/2 | G1/2 | G3/4 | G1 | G1 | G1-1/4 | |
| 外型尺寸（水）cm | 50×40×95 | 50×40×95 | 60×45×125 | 75×55×145 | 85×55×145 | 90×65×155 | |
| 外形尺寸（风）cm | 50×40×95 | 60×45×125 | 75×55×145 | 85×55×145 | 90×65×155 | 115×75×175 | |
| 重量（风）kg | 95 | 115 | 155 | 225 | 315 | 450 | |
| 外壳材质 | 冷轧板喷塑（标准颜色9016，可选配SUS304材质） | ||||||
| 电源 ph/v/Hz | 1/220/50 | 3/380/50 | |||||
| 机组配电功率 kW（不含加热器功率） | 1.6 | 2.3 | 3.5 | 5 | 6.5 | 11 | |
| 选配一 | 流量检测及控制功能，增加流量传感器和流量调节阀，型号后缀F | ||||||
| 选配二 | 使用压缩空气作为气源的，可选配内置或外置再生式空气干燥器，露点最低可处理至-70℃，型号后缀D | ||||||
| 选配三 | 可选配高低温型，型号后缀H，温度范围最宽可扩展至-40~200℃ | ||||||
※ 备注
- 以上制冷量参数基于冷却水进水温度20℃，风冷为环境温度20℃。
- 表格只展示了部分产品参数，如有其他型号或定制需求，请与本公司业务人员联系，另外本公司保留更改上述参数而不另行通知的权力。
参数配置表PTLQ系列 -60℃
| 型号 | PTLQ-D05-30 | PTLQ-D1-60 | PTLQ-D1.5-90 | PTLQ-D2.5-150 | PTLQ-D3.5-200 | PTLQ-D5.5-300 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 最低处理温度 | -60℃ | ||||||
| 气体处理能力 m³/h | 30 | 60 | 90 | 150 | 200 | 300 | |
| 制冷量 kW @-55℃ | 0.5 | 1 | 1.5 | 2.5 | 3 | 5.5 | |
| 加热功率 kW（选配） | 0.9 | 1.8 | 1.8 | 3 | 3.5 | 5.5 | |
| 控温精度 | ±0.5℃（需选配加热器，未选配加热器默认为不控温，出口温度达到设计计算最低温度即可） | ||||||
| 控制系统 | PLC控制器，智能PID控温模块，可精确控制和实时显示温度 | ||||||
| 人机界面 | 7寸彩色触摸屏，中英文显示，操作简便、显示直观，可显示、记录温度曲线和测试数据 | ||||||
| 控温对象 | 设备出口温度控制 | ||||||
| 通讯模式 | Modbus RTU协议RS485接口 | ||||||
| 外部输入 | 外置测温传感器端口、USB数据接口 | ||||||
| 温度反馈 | 设备导热介质温度反馈PT100（进口温度、出口温度） | ||||||
| 安全防护 | 设备运行状态实时显示，故障信息自动诊断，多项报警保护：电源故障、压缩机热过载、制冷压力过高、制冷压力过低、加热器超温、温度模块故障、传感器故障等保护功能。 | ||||||
| 换热器材质 | SUS304 | ||||||
| 换热器承压 | ≥3Mpa | ||||||
| 进气要求 | 氮气或3~7bar压缩空气：需干燥处理，露点温度低于最低处理温度 | ||||||
| 制冷剂 | 一级R404A/二级R23 | ||||||
| 接口尺寸 | 10mm卡套 | G1/2 | G3/4 | G1 | G1-1/4 | DN50 | |
| 水冷型（型号后缀W） | 流量 m³/h | 1.2 | 1.8 | 2.5 | 3.5 | 4.5 | 6.5 |
| 水温 | 以上流量根据水温20℃计算得出，冷却水进水温度应不高于30℃，不低于5℃，否则将影响设备正常运行。 | ||||||
| 压力 | 2~4.5bar | ||||||
| 接口尺寸 | G1/2 | G1/2 | G3/4 | G1 | G1-1/4 | G1-1/4 | |
| 外型尺寸（水）cm | 60×45×115 | 75×55×145 | 85×55×145 | 90×65×155 | 115×75×175 | 125×85×195 | |
| 外形尺寸（风）cm | 75×55×145 | 85×55×145 | 90×65×155 | 115×75×175 | 125×85×195 | 155×100×225 | |
| 重量（风）kg | 135 | 180 | 225 | 305 | 385 | 455 | |
| 外壳材质 | 冷轧板喷塑（标准颜色9016，可选配SUS304材质） | ||||||
| 电源 ph/v/Hz | 1/220/50 | 3/380/50 | |||||
| 机组配电功率 kW（不含加热器功率） | 2 | 3 | 4.5 | 6 | 8.5 | 12.5 | |
| 选配一 | 流量检测及控制功能，增加流量传感器和流量调节阀，型号后缀F | ||||||
| 选配二 | 使用压缩空气作为气源的，可选配内置或外置再生式空气干燥器，露点最低可处理至-70℃，型号后缀D | ||||||
| 选配三 | 可选配高低温型，型号后缀H，温度范围最宽可扩展至-60~200℃ | ||||||
※ 备注
- 以上制冷量参数基于冷却水进水温度20℃，风冷为环境温度20℃。
- 表格只展示了部分产品参数，如有其他型号或定制需求，请与本公司业务人员联系，另外本公司保留更改上述参数而不另行通知的权力。
参数配置表PTLQ系列 -80℃
| 型号 | PTLQ-F05-30 | PTLQ-F1-60 | PTLQ-F1.5-90 | PTLQ-F2.5-150 | PTLQ-F3.5-200 | PTLQ-F5.5-300 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 最低处理温度 | -80℃ | ||||||
| 气体处理能力 m³/h | 30 | 60 | 90 | 150 | 200 | 300 | |
| 制冷量 kW @-75℃ | 0.5 | 1 | 1.5 | 2.5 | 3.5 | 5.5 | |
| 加热功率 kW（选配） | 0.9 | 1.8 | 1.8 | 3 | 3.5 | 5.5 | |
| 控温精度 | ±0.5℃（需选配加热器，未选配加热器默认为不控温，出口温度达到设计计算最低温度即可） | ||||||
| 控制系统 | PLC控制器，智能PID控温模块，可精确控制和实时显示温度 | ||||||
| 人机界面 | 7寸彩色触摸屏，中英文显示，操作简便、显示直观，可显示、记录温度曲线和测试数据 | ||||||
| 控温对象 | 设备出口温度控制 | ||||||
| 通讯模式 | Modbus RTU协议RS485接口 | ||||||
| 外部输入 | 外置测温传感器端口、USB数据接口 | ||||||
| 温度反馈 | 设备导热介质温度反馈PT100（进口温度、出口温度） | ||||||
| 安全防护 | 设备运行状态实时显示，故障信息自动诊断，多项报警保护：电源故障、压缩机热过载、制冷压力过高、制冷压力过低、加热器超温、温度模块故障、传感器故障等保护功能。 | ||||||
| 换热器材质 | SUS304 | ||||||
| 换热器承压 | ≥3Mpa | ||||||
| 进气要求 | 氮气或3~7bar压缩空气：需干燥处理，露点温度低于最低处理温度 | ||||||
| 制冷剂 | 一级R404A/二级R508B | ||||||
| 接口尺寸 | 10mm卡套 | G1/2 | G3/4 | G1 | DN32 | DN50 | |
| 水冷型（型号后缀W） | 流量 m³/h | 1.5 | 2.3 | 3.2 | 4.5 | 5.6 | 8.2 |
| 水温 | 以上流量根据水温20℃计算得出，冷却水进水温度应不高于30℃，不低于5℃，否则将影响设备正常运行。 | ||||||
| 压力 | 2~4.5bar | ||||||
| 接口尺寸 | G1/2 | G3/4 | G1 | G1-1/4 | G1-1/4 | DN40 | |
| 外型尺寸（水）cm | 60×45×125 | 75×55×145 | 85×55×145 | 90×65×155 | 115×75×175 | 125×85×195 | |
| 外形尺寸（风）cm | 75×55×145 | 85×55×145 | 90×65×155 | 115×75×175 | 125×85×195 | 155×100×225 | |
| 重量（风）kg | 150 | 205 | 255 | 335 | 420 | 485 | |
| 外壳材质 | 冷轧板喷塑（标准颜色9016，可选配SUS304材质） | ||||||
| 电源 ph/v/Hz | 1/220/50 | 3/380/50 | |||||
| 机组配电功率 kW（不含加热器功率） | 2.5 | 3.5 | 5 | 8.5 | 12 | 16 | |
| 选配一 | 流量检测及控制功能，增加流量传感器和流量调节阀，型号后缀F | ||||||
| 选配二 | 使用压缩空气作为气源的，可选配内置或外置再生式空气干燥器，露点最低可处理至-70℃，型号后缀D | ||||||
| 选配三 | 可选配高低温型，型号后缀H，温度范围最宽可扩展至-80~200℃ | ||||||
※ 备注
- 以上制冷量参数基于冷却水进水温度20℃，风冷为环境温度20℃。
- 表格只展示了部分产品参数，如有其他型号或定制需求，请与本公司业务人员联系，另外本公司保留更改上述参数而不另行通知的权力。
参数配置表PTLQ系列 -100℃
| 型号 | PTLQ-H05-30 | PTLQ-H1-60 | PTLQ-H1.5-90 | PTLQ-H2.5-150 | PTLQ-H3.5-200 | PTLQ-H5.5-300 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 最低处理温度 | -100℃ | ||||||
| 气体处理能力 m³/h | 30 | 60 | 90 | 150 | 200 | 300 | |
| 制冷量 kW @-95℃ | 0.5 | 1 | 1.5 | 2.5 | 3.5 | 5.5 | |
| 加热功率 kW（选配） | 0.9 | 1.8 | 1.8 | 3 | 3.5 | 5.5 | |
| 控温精度 | ±0.5℃（需选配加热器，未选配加热器默认为不控温，出口温度达到设计计算最低温度即可） | ||||||
| 控制系统 | PLC控制器，智能PID控温模块，可精确控制和实时显示温度 | ||||||
| 人机界面 | 7寸彩色触摸屏，中英文显示，操作简便、显示直观，可显示、记录温度曲线和测试数据 | ||||||
| 控温对象 | 设备出口温度控制 | ||||||
| 通讯模式 | Modbus RTU协议RS485接口 | ||||||
| 外部输入 | 外置测温传感器端口、USB数据接口 | ||||||
| 温度反馈 | 设备导热介质温度反馈PT100（进口温度、出口温度） | ||||||
| 安全防护 | 设备运行状态实时显示，故障信息自动诊断，多项报警保护：电源故障、压缩机热过载、制冷压力过高、制冷压力过低、加热器超温、温度模块故障、传感器故障等保护功能。 | ||||||
| 换热器材质 | SUS304 | ||||||
| 换热器承压 | ≥3Mpa | ||||||
| 进气要求 | 氮气或3~7bar压缩空气：需干燥处理，露点温度低于最低处理温度 | ||||||
| 制冷剂 | 混合冷媒 | ||||||
| 接口尺寸 | 10mm卡套 | G1/2 | G3/4 | G1 | DN32 | DN50 | |
| 水冷型（型号后缀W） | 流量 m³/h | 2.2 | 3.5 | 5.3 | 8.5 | 11 | 15 |
| 水温 | 以上流量根据水温20℃计算得出，冷却水进水温度应不高于30℃，不低于5℃，否则将影响设备正常运行。 | ||||||
| 压力 | 2~4.5bar | ||||||
| 接口尺寸 | G3/4 | G1 | G1-1/4 | DN40 | DN40 | DN50 | |
| 外型尺寸（水）cm | 75×55×145 | 85×55×145 | 90×60×155 | 100×70×175 | 100×70×175 | 150×95×190 | |
| 外形尺寸（风）cm | 90×65×155 | 100×70×175 | 125×85×185 | 150×95×190 | 150×95×190 | 200×150×225 | |
| 重量（风）kg | 255 | 325 | 420 | 535 | 650 | 1050 | |
| 外壳材质 | 冷轧板喷塑（标准颜色9016，可选配SUS304材质） | ||||||
| 电源 ph/v/Hz | 3/380/50 | ||||||
| 机组配电功率 kW（不含加热器功率） | 4.8 | 7.5 | 11 | 18 | 30 | 48 | |
| 选配一 | 流量检测及控制功能，增加流量传感器和流量调节阀，型号后缀F | ||||||
| 选配二 | 使用压缩空气作为气源的，可选配内置或外置再生式空气干燥器，露点最低可处理至-70℃，型号后缀D | ||||||
| 选配三 | 可选配高低温型，型号后缀H，温度范围最宽可扩展至-100~200℃ | ||||||
※ 备注
- 以上制冷量参数基于冷却水进水温度20℃，风冷为环境温度20℃。
- 表格只展示了部分产品参数，如有其他型号或定制需求，请与本公司业务人员联系，另外本公司保留更改上述参数而不另行通知的权力。
参数配置表PTLQ系列 -120℃
| 型号 | PTLQ-J05-30 | PTLQ-J1-60 | PTLQ-J1.5-90 | PTLQ-J2.5-150 | PTLQ-J3.5-200 | PTLQ-J5.5-300 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 最低处理温度 | -120℃ | ||||||
| 气体处理能力 m³/h | 30 | 60 | 90 | 150 | 200 | 300 | |
| 制冷量 kW @-115℃ | 0.5 | 1 | 1.5 | 2.5 | 3.5 | 5.5 | |
| 加热功率 kW（选配） | 0.9 | 1.8 | 1.8 | 3 | 3.5 | 5.5 | |
| 控温精度 | ±0.5℃（需选配加热器，未选配加热器默认为不控温，出口温度达到设计计算最低温度即可） | ||||||
| 控制系统 | PLC控制器，智能PID控温模块，可精确控制和实时显示温度 | ||||||
| 人机界面 | 7寸彩色触摸屏，中英文显示，操作简便、显示直观，可显示、记录温度曲线和测试数据 | ||||||
| 控温对象 | 设备出口温度控制 | ||||||
| 通讯模式 | Modbus RTU协议RS485接口 | ||||||
| 外部输入 | 外置测温传感器端口、USB数据接口 | ||||||
| 温度反馈 | 设备导热介质温度反馈PT100（进口温度、出口温度） | ||||||
| 安全防护 | 设备运行状态实时显示，故障信息自动诊断，多项报警保护：电源故障、压缩机热过载、制冷压力过高、制冷压力过低、加热器超温、温度模块故障、传感器故障等保护功能。 | ||||||
| 换热器材质 | SUS304 | ||||||
| 换热器承压 | ≥3Mpa | ||||||
| 进气要求 | 氮气或3~7bar压缩空气：需干燥处理，露点温度低于最低处理温度 | ||||||
| 制冷剂 | 混合冷媒 | ||||||
| 接口尺寸 | 10mm卡套 | G1/2 | G3/4 | G1 | DN32 | DN50 | |
| 水冷型（型号后缀W） | 流量 m³/h | 3.5 | 5.5 | 10 | 15 | 20 | 30 |
| 水温 | 以上流量根据水温20℃计算得出，冷却水进水温度应不高于30℃，不低于5℃，否则将影响设备正常运行。 | ||||||
| 压力 | 2~4.5bar | ||||||
| 接口尺寸 | G1 | G1-1/4 | DN40 | DN50 | DN50 | DN65 | |
| 外型尺寸（水）cm | 90×60×155 | 100×70×175 | 100×70×175 | 150×95×190 | 150×95×190 | 200×150×225 | |
| 外形尺寸（风）cm | 125×85×185 | 150×95×190 | 150×95×190 | 200×150×225 | 200×150×225 | 250×180×255 | |
| 重量（风）kg | 420 | 535 | 650 | 1050 | 1180 | 1550 | |
| 外壳材质 | 冷轧板喷塑（标准颜色9016，可选配SUS304材质） | ||||||
| 电源 ph/v/Hz | 3/380/50 | ||||||
| 机组配电功率 kW（不含加热器功率） | 6 | 10.5 | 17 | 28 | 45 | 56 | |
| 选配一 | 流量检测及控制功能，增加流量传感器和流量调节阀，型号后缀F | ||||||
| 选配二 | 使用压缩空气作为气源的，可选配内置或外置再生式空气干燥器，露点最低可处理至-70℃，型号后缀D | ||||||
| 选配三 | 可选配高低温型，型号后缀H，温度范围最宽可扩展至-120~200℃ | ||||||
※ 备注
- 以上制冷量参数基于冷却水进水温度20℃，风冷为环境温度20℃。
- 表格只展示了部分产品参数，如有其他型号或定制需求，请与本公司业务人员联系，另外本公司保留更改上述参数而不另行通知的权力。
